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電子顯微鏡新型電子源問(wèn)世

文章來(lái)源:科技日?qǐng)?bào)發(fā)布日期:2010-09-16瀏覽次數(shù):64868

近日,日本物質(zhì)材料研究機(jī)構(gòu)的研究人員開(kāi)發(fā)出一種新型電子源,有望使電子顯微鏡的識(shí)別和測(cè)定能力得到飛躍式提高。

  據(jù)介紹,開(kāi)發(fā)出這種新型電子源的是日本物質(zhì)材料機(jī)構(gòu)的兩名華人科學(xué)家,一次元材料組組長(zhǎng)唐捷和研究員張涵(音譯)。為了大幅度提高電子顯微鏡的性能,他們重點(diǎn)進(jìn)行了新型電子源的開(kāi)發(fā),同時(shí)在電子放射方法方面也進(jìn)行了創(chuàng)新。

  目前,電子顯微鏡普遍使用金屬元素鎢作為電子源,而化合物六硼化鑭(LaB6)作為電子源雖然在性能上超過(guò)鎢,但其硬度超過(guò)鎢一倍以上,如果沒(méi)有合適的加工方法很難實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。此次研究人員使用了一種叫化學(xué)氣相堆積法的方法,首先制成了單結(jié)晶的六硼化鑭納米線,然后使用電界蒸發(fā)的方式除去了納米線表面的不純物質(zhì),從而成功開(kāi)發(fā)出了新型電子源。與以往通過(guò)高溫加熱熱源,使之放射出熱電子的方式相比,新型電子源采用的是以極高的亮度放射出超細(xì)電子束的電界放射方式。

  在電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域,日本過(guò)去一直領(lǐng)先世界,透過(guò)式電子顯微鏡和掃描式電子顯微鏡也一直是日本重要的技術(shù)出口產(chǎn)品,但目前在該領(lǐng)域日本已經(jīng)被美國(guó)和德國(guó)超越。研究人員稱,前段時(shí)間日本已經(jīng)開(kāi)發(fā)出新型高性能鏡頭,如果配上此次開(kāi)發(fā)成功的六硼化鑭單結(jié)晶納米線電界放射型電子源,將有望使日本重新奪回透過(guò)式電子顯微鏡地位。